研究方向

材料制备器件制作芯片设计
拥有充足的高洁净等级洁净面积,其净化服务区及洁净间附属设施构成微纳加工平台,该平台将致力于微纳尺度器件和材料的加工及测试。拥有电子束曝光机、真空溅射镀膜系统、光刻机、刻蚀机等高端大型仪器,能够支持复杂量子电路的高水平制备与表征测试。

研究团队

研究成果