名称：匀胶机I

品牌：SAWATEC

型号：SM-150 BT

产地：瑞士

参数：

•      转速范围：0-10000 rpm；

•      加速度：0-8000 rpm为0.8 s，0-10000 rpm为1 s；

•      减速度：10000 rpm-0为2.5 s，8000 rpm-0为0.8 s；

•      工艺时间：最长2376 s；

•      每个程序段的给胶时间：99 s；

•      最大晶圆尺寸：6 inch。

名称：匀胶机II

品牌： SUSS MicroTec

型号：SUSS LabSpin6 TT

产地：德国

参数：

•      转速范围：0-8000 rpm；

•      加速度：4000 rpm/s；

•      最大晶圆尺寸：4 inch。

名称：匀胶机III

品牌：中国科学院微电子研究所

型号：KW-4A

产地：中国

参数：

•      转速范围：Ⅰ档300-2000 rpm，Ⅱ档1000-8000 rpm；

•      工艺时间：Ⅰ档0-18 s，Ⅱ档0-60 s；

•      最大晶圆尺寸：6 inch。