名称：精密划片机

品牌：沈阳和研

型号：DS616

产地：中国

参数：

•      晶圆尺寸：≤160 mm × 160 mm或直径6 inch；

•      晶圆厚度：≤4 mm；

•      切槽深度：1 μm - 3.0 mm； 

•      切槽宽度：30 μm、50 μm、280 μm；

•      X轴：行程240 mm，精度1 μm；

•      Y轴：行程170 mm，精度0.5 μm；

•      Z轴：行程最大30 mm，精度1 μm；

•      θ轴：范围380°，精度0.0002°。