名称：全自动溅射仪

品牌：北京博远

型号：ETD-800

产地：中国

参数：

•      靶材：Au；

•      样品仓：直径115 mm，高100 mm；

•      样品台：直径50 mm；

•      溅射电流：50 mA；

•      溅射速率：优于40 nm/min。