2024年3月21日下午，量子院第二十四期“工程师技术沙龙”活动在量子院526报告厅如期举办。本期沙龙由6名工程师呈现了精彩的技术报告，分别在Si基材料刻蚀工艺及设备、模块化超导量子芯片、微型原子钟驯服、AFM探针选择、光学测试中透镜的使用、桌面光源简介等主题方向展开讨论和经验分享。本期沙龙活动吸引了院内外众多科研人员、博士后、工程师到场交流。

本期沙龙量子院6位工程师作的精彩报告分别是：

高志廷的技术报告《Si基材料刻蚀工艺及设备》 介绍了量子院微纳加工平台的RIE、PECVD、ICP、深硅刻蚀机等设备的结构及原理，分享了采用ICP刻蚀Si、SiC、SiO2 过程中功率、气体、腔体气压、基体等因素对速率和结构的影响，展示了利用硅通孔技术制备的深宽比10:1的Si孔，体现了工程师对微纳加工平台的强力支撑作用和出色的专业能力。

王晨露的技术报告《模块化超导量子芯片》介绍了模块化量子芯片的概念，模块化芯片具备良率高、成本低、功能集成、扩展和维护性强等优点，可通过直接连接消除耦合路径的电容变化，改善铟连接器对器件传输性能的影响。团队对少比特跨片倒装焊和多比特跨片倒装焊工艺进行了探索，并取得了较好的成绩。展示了工程师在制备超导量子芯片性能方面出色的工艺水平和突出的专业理论能力。

岳城亮的技术报告《微型原子钟驯服功能设计》 介绍了微型原子钟驯服功能设计，利用接收导航卫星信号对原子钟进行矫正，介绍了工程师所在原子系综精密测量团队自主设计研发的驯服系统，包括外部秒脉冲识别、频差测量、PID控制等关键技术，其主要指标参数优于Microchip和多项国产产品，展现了工程师突出的专业能力和技术水平。

张玉的技术报告《如何选择AFM探针》通过介绍原子力显微镜（AFM）的基本原理，展示了探针的尺寸、结构、材质等因素对成像的影响，提出了不同类型的样品及测试需求下弹性系数、共振频率、针尖曲率半径选择的建议，并列举测试过程中常见的问题和应对措施。展现了综合测试平台工程师娴熟的设备操作经验和理论基础。

武诗瑶的技术报告《 光学测试中透镜的使用》介绍了透镜的发展历史、工作原理、常见种类，分享了在解决球差、色差等方面的透镜选择方法，以及准直光聚焦、发散光准直、激光缩束/扩束等光学测试系统中的应用。体现了工程师丰富扎实的工程实践经验，为光量子通讯与器件团队提供重要支撑。

杨涛的技术报告《桌面光源原理及应用简介》介绍了量子院自主研发的桌面光源装置的原理，其利用激光驱动尾波加速实现了尺寸从公里级到桌面级的大幅缩小、全光谱超快超强等功能的高度集成、参数兼具同步辐射和自由电子激光重要特征、运行稳定等显著优势，并分享了其在小动物成像、金属探伤等医学、军事领域的测试结果和广大应用前景。展示了全光量子源团队在桌面光源装置的领先水平和工程师在项目中的贡献作用。

技术沙龙设置评分环节，由科研人员和工程师代表组成评分小组。评分小组按照沙龙评分规则，最终评选出本期优秀技术报告是岳城亮的《微型原子钟驯服功能设计》。

本期优秀技术报告内容完整，逻辑清晰，介绍自主研发的微型原子钟驯服功能设计的宝贵经验和教训，体现了工程师扎实的理论基础和将产品工程化的突出能力。报告有理有据，受到评分委员的一致好评。